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    HF無油分子泵機組

    概述

    用途
    HF無油分子泵機組是由各性能分子泵、無油泵、通斷放氣閥、前級管路、斷水保護器、分子泵電源、控制電源等組裝而成的清潔超高真空獲得設備。安裝方便,操作簡單,易于連接,性能可靠??蓮V泛應用于表面分析、加速器技術、半導體設備,等離子技術、電真空器件的制造及真空技術各領域。

    應用領域
    分析儀器;氣相分析;電子顯微鏡;檢漏儀等。

    工作應用
    顯像管領域;光盤制造;鍍膜行業;電子束焊接設備;ITO生產線;OLED生產線、幕墻玻璃生產線;離子刻蝕;半導體制造工業;真空爐;真空輸送;照明燈生產工業;食品包裝;電真空工業等。

    科研領域
    高能物理、表面物理、科研儀器、空間研究等真空技術領域。

    主要性能參數

    型號參數 HFP100/110 HFP160/620 HFP200/1200
    高真空法蘭 DN100LF DN100CF DN160LF DN150CF DN200LF DN200CF
    抽氣速率(L/S) 110 450 1200
    壓縮比(N2) <10 <10 <10
    壓縮比(H2) 5*10 10 6*10
    極限壓強(Pa) 6*10-5 6*10-5 6*10-5 6*10-5 6*10-5 6*10-5
    輸入電壓頻率(V/HZ) 380±20/50±1 380±20/50±1 380±20/50±1
    冷卻水壓力(Kg.cm) 0.5-1 0.5-1 0.5-1
    前級泵型號 HF-8 HF-15 HF-30
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